Propiedades De Películas Delgadas De Izo Impurificado Con Nitrógeno

En el presente trabajo, se hace la caracterización óptica y eléctrica con la técnica de Elipsometría Espectral, de películas delgadas de IZO impurificadas con nitrógeno. EStas películas pertenecen a la familia de óxidos conductores transparentes (TCO’s), en donde una de sus cualidades es que son materiales con alta transparencia en las regiones de infrarrojo cercano, visible y ultravioleta, teniendo las características de baja resistividad eléctrica, buena movilidad y alta concentración de portadores de carga libres. PAra depositar las películas de óxido de zinc e indio (IZO) dopado con nitrógeno, se utilizó la técnica de pulverización catódica reactiva asistida por radiofrecuencia. ESta técnica es altamente reproducible y tiene un alto control en la incorporación de las impurezas.

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