Tecnología De Fabricación De Microcircuitos

El presente libro describe las caracteristicas fundamentales de los procesos tecnologicos que se utilizan en la fabricacion de dispositivos semiconductores, especialmente los dispositivos de silicio. Tambien analiza aspectos basicos de la fisica que le sirven de base a los diferentes procesos. Aspectos generales de fabricacion, como caracteristicas de las areas limpias, pureza requerida en los diferentes materiales y tipos de equipamiento utilizado en los diferentes procesos tecnologicos, tambien se discuten. El contenido esta orientado a estudiantes de las especialidades de Electronica y Microelectronica de las facultades de Fisica y de Ingenieria. Puede ser utilizado tambien como libro de consulta. El material recoge la experiencia en investigacion y docencia de los autores en este campo, por mas de 40 anos.

Número de páginas: 472